HMDS烘箱是專業(yè)針對(duì)光刻工藝中hmds預(yù)處理的設(shè)備，被廣泛的應(yīng)用于半導(dǎo)體生產(chǎn)加工等方面使用，可見烘箱溫度控制的重要性，要掌控溫度必然需要精密的溫度傳感器，以確保溫度準(zhǔn)確有效控制。因此溫度的控制自然成了工業(yè)烤箱、烘箱、高溫烘箱的基本技術(shù)，為保證溫度控制的準(zhǔn)確性及故障信息反映的及時(shí)性，烘箱內(nèi)必須具有精密的溫度傳感器測(cè)試系統(tǒng)。

　　目前溫度傳感控制主要分為電阻和電阻偶兩大類：

　　國(guó)內(nèi)HMDS烘箱生產(chǎn)廠家生產(chǎn)的高溫烘箱多采用鉑金電阻，其測(cè)溫準(zhǔn)確度高，并且性能穩(wěn)定，測(cè)溫范圍能達(dá)到-200℃至+650℃，其成本相對(duì)較高。

　　熱電偶則是采用的測(cè)量熱電動(dòng)勢(shì)值的方法，其測(cè)溫范圍更廣，zui高能達(dá)到+1800℃，精度高且能夠在較遠(yuǎn)距離進(jìn)行檢測(cè)，還可以多點(diǎn)或集中監(jiān)測(cè)和自動(dòng)控制，但是在低溫和常溫段的測(cè)量精度會(huì)有所下降，并且在它的自由端是需要溫度補(bǔ)償?shù)摹?/div>

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